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发布时间：2024-05-03 12:12:56 发布用户：kaitezhang
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这种称为环氧硅氧烷聚酯树脂（PES）的新材料，也使得新一代低成本芯片纳米压印光刻术成为可能。该研究成果刊登在近期美国《真空科学与技术：B辑》上。伦斯勒理工学院的物理教授陆道明称，有了这种新材料，芯片商将能削减从生产到封装过程中的数个生产步骤，从而实现成本的降低。目前广泛采用的光刻是利用光与化学物质的混合，在硅的微小面积上产生复杂的微米与纳米级图案。作为此过程的一部分，称为重分布层的聚合物薄膜对器件的功效相当重要，它沉积到硅芯片上，以减缓信号传输延迟，并保护芯片免受环境差异与机械因素的影响。

 

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