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直拉式长晶炉南浔分子泵的 椭圆封头主要组成部分是半个椭圆壳。壳体是被2个曲面限定的物体,等分壳体各点厚度中点的曲面称为壳体中面,中面由回转曲面形成的壳体称为回转壳体,中面母线回转形成了回转壳体。因此,用椭圆封头的中面母线表示椭圆封头几何形状。的硅单晶体生长炉商之一。KAYEX的产品早在80年代初进入市场,已成为半导体行业使用多的品牌。 光伏产品设备、补偿柜、电容柜、整流柜、电源柜、单晶炉,二手长晶炉,单晶硅生长炉,二手85型华盛天龙单晶炉,汉虹,北京京运通,浙江晶盛,北京京仪,常州华盛天龙,常州江南电力,宁夏晶阳,美国KEYEX,西安理工,温州永泰,中电48所,北京有色院,晨华,锦州电炉,沈阳麦科,华盛天龙,晶盛机电,汉虹,晶龙,西安理工,七星华创,京仪,创联,祺科,永泰,世宗,江南电力等品牌的炉子基本上国内的炉子可以按派系来分类,有欧系,日系。 炉筒升降采用丝杠提升技术,简便干净。特点编辑HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动。便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计。即可满足转动所需的扭矩,又可实现转速的控制。质量流量计控制氩气流量。自主产权的控制软件采用视窗,操作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具了工艺实时的。可靠性高,抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热功率控制方式可选,保控温精度。质量流量计控制氩气流量。维护方便全自动控制系统采用模块化设计高精度真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。技术领域:本发明涉及一种直拉式单晶生长炉。背景技术:图1为切克劳斯基(直拉)法硅单晶的单晶炉剖面示意图,图1-2 中,l为炉筒,2为保温盖,3为保温盖,4为保温材津牛,5为保温罩,6为 加热器,7为水套,8为石英埚,9为导流筒,IO为护盘,12为氩气输 入管,11为分布有孔11-1的环形气体分布器,13为排气口。名称:直拉式单晶生长炉的方法直拉式单晶生长炉的方法直拉硅单晶在生长过程中需要向炉内不断充入氩气尤其是坩埚 支持器下方的空间较大,导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出, 热能消耗量较大,另外,现有技术中,从氩气输入管向炉内充入氩气时, 充气气压为1. 3x 103pa,氩气流量为40L/min,因此其氩气消耗量大,生产 成本较高。 单晶炉,长晶炉,多晶硅炉,半封闭母线槽,插接式母线槽,水冷空调、制冷设备,冷凝器、电容柜,电线电缆,配电箱、电梯、空压机、高压关、互感器、UBS电瓶、电动机、压缩机、机械设备、厨房设备、酒店设备、公设备、电抗器、稳压器、高压柜、低压柜、启动柜,发电机组, 生产线,活动房,配电柜,收购器,冷凝器,叉车, 行车,厂区行车,集装箱等等
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